ศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค 5 จัดตั้งขึ้นตามพระราชบัญญัติจัดตั้งศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบ พ.ศ. 2559 มาตรา 6 ให้จัดตั้งศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาคขึ้น และจะเปิดทําการเมื่อใดให้ประกาศโดยพระราชกฤษฎีกา ซึ่งจะต้องระบุเขตอํานาจศาล และกําหนดที่ตั้งศาลในเขตศาลนั้นไว้ด้วย และตามพระราชกฤษฎีกา กำหนดจำนวน ที่ตั้ง เขตศาล และวันเปิดทำการของศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค พ.ศ. 2560 ให้มีศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค จำนวน 9 ศาล คือศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค 1-9 โดยให้ศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค 5 มีเขตศาลในจังหวัดเชียงราย จังหวัดเชียงใหม่ จังหวัดน่าน จังหวัดพะเยา จังหวัดแพร่ จังหวัดแม่ฮ่องสอน จังหวัดลำปาง และจังหวัดลำพูน มีที่ตั้งอยู่ ณ จังหวัดเชียงใหม่ และให้เปิดทำการตั้งแต่วันที่ 1 เมษายน 2560 เดิมที่ทำการศาลตั้งอยู่ที่อาคารศาลแขวงเชียงใหม่ ต่อมาได้ย้ายที่ทำการตามประกาศคณะกรรมการบริหารศาลยุติธรรม เรื่อง เปลี่ยนแปลงสถานที่ตั้งของศาลอาญาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบภาค 5 โดยอาคารที่ทำการศาลหลังใหม่ตั้งอยู่ในบริเวณศูนย์ราชการจังหวัดเชียงใหม่ ตั้งแต่วันที่ 4 สิงหาคม 2564 เป็นต้นไป

          โดยวิธีพิจารณาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบให้ใช้ระบบไต่สวนตามพระราชบัญญัติวิธีพิจารณาคดีทุจริตและประพฤติมิชอบ พ.ศ. 2559 และข้อบังคับประธานศาลฎีกาว่าด้วยวิธีการดำเนินคดีทุจริตและประพฤติมิชอบ พ.ศ. 2559 ข้อบังคับประธานศาลฎีกาว่าด้วยวิธีการดำเนินคดีทุจริตและประพฤติมิชอบ พ.ศ. 2560 (ฉบับที่ 2) และที่แก้ไขเพิ่มเติม